「SEMICON Japan」展示まとめ

Update date:2023/12/22

“光で未来を変える” レボックス株式会社は、

2023年12月13日(水)～15日(金)に開催された「SEMICON Japan」に出展いたしました。

ブースでは、検査・アライメントにご採用実績多数の近赤外LED光源に加えて、

特殊な波長や形状にも対応できるレボックス独自のLEDモジュールを用いた

Siウエハの加熱に最適なLEDヒーターや超高出力VCSEL-COBを参考出展しました。

会期	2022年12月13日(水)～15日(金)　10:00～17:00
会場	東京ビッグサイト（会場までのアクセスはこちら）
ブース	東4ホール 4022
公式URL	https://www.semiconjapan.org/jp

● 高強度ファイバー用NIR-LED 光源　SLG-150V-NIR シリーズ〈NEW〉

自動検査装置用近赤外線ハロゲンランプの置き換えを可能とする高強度ファイバー用LED 光源。ラインナップはピーク波長毎に 850nm/ 940nm/ 1060nm/ 1100nm/ 1150nm/ 1200nm/ 1300nm/ 1450nm/ 1550nmの9機種です（評価用デモ機有）。

フィルムや樹脂、半導体ウエハ等の透過検査、水分吸収による食品の品質検査用照明としての使用が可能です。LED光源であることから、従来のランプ光源と比較して極めて長寿命であり、交換に伴うコストや手間も削減できます。半導体シリコンウエハ透過検査用途でのランプ置換実績多数！

＜技術仕様＞

・波長：850nm/ 940nm/ 1060nm/ 1100nm/ 1150nm/ 1200nm/ 1300nm/ 1450nm/ 1550nm

・LED期待寿命：30,000 時間（850nm/ 940nm/ 1100nm）、23,000 時間（1060nm）

・光強度補正機能（オプション）

・CE認証／KC認証／RoHS対応／PSE適合

● LEDヒーター〈参考出展〉

Siウエハの加熱に最適なLEDヒーターのデモ展示を実施しました。

● 超高出力 VCSEL-COB〈参考出展〉

自社製造のVCSEL-COBのサンプルを展示しました。

＜技術仕様＞

・波長：850nm/ 940nm/ 1130nm

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